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河北冀旋電爐制造有限公司
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河北退火爐的內部結構介紹

發布時間:2019-02-25 09:40:42??來源:河北冀旋電爐制造有限公司

    河北退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設計的??梢约訜峋约せ顡诫s劑,將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態,修復注入的損傷,移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。退火爐內部結構的相關介紹亚投彩票一起看一下。

    退火爐傳動部分:臺車傳動采用電動機、減速機通過鏈條帶動前端一組主動輪傳動。爐門傳動是采用蝸輪減速機和電動機組合電動升降。

    密封:臺車與爐體密封采用迷宮式結構,并在臺車兩側有自動沙封刀密封裝置。爐門密封采用滾道式壓緊和彈簧壓緊自動機構密封該爐爐體部分采用優質耐火磚結構,保證爐膛密封性。在臺車耐壓部分采用高鋁磚砌筑,下部均添保溫磚保溫。

    退火爐燃燒系統:在油爐兩側各安裝數只燒咀,熱流在爐內往復循環,確保爐溫均勻性。根據需要可選定自動型和半自動型。

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